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玻璃/硅片清洗设备
集成多项标准清洗工艺,并采用后置前节水利用方式,有效去除颗粒物、油污,改善亲水角。
时间型/空间型ALD设备
低温沉膜,膜层厚度精度可控;膜层致密性好无孔洞,优秀的台阶覆盖率。
涂布一体机(箱式/隧道式)
涂布机配置高精度运动平台、多段式涂布控制方式、液路系统自动清洁与干燥、多重安全防护,整体氛围可控。
喷墨打印设备
采用高精度喷头、运动系统与智能墨滴控制技术,实现高分辨率喷印可控图形。
多功能镀膜设备
集成热蒸镀(VED)、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜,以产业化标准设计研发机台。
贴膜机/撕膜机
贴膜设备搭载真空腔体与高精度滚压结构,贴合精准平整。撕膜设备采用UV固化脱胶工艺。
磁控溅射镀膜设备
低温工艺,高温工艺;产品系列从研发设备至量产设备全面布局;立式传送&卧式传送。
反应式等离子体镀膜设备(RPD)
低损伤、低温高迁高透工艺;产品系列从研发设备至量产设备全面布局。
激光划线清边一体设备
大幅面平台划线采用高精度气浮平台,长期工作稳定可靠。
蒸镀设备
模块化设计,设备更加灵活。可根据需求快速调整产线的规模和配置。