玻璃/硅片清洗设备
玻璃/硅片清洗设备
技术特点 Features
· 集成多项标准清洗工艺，并采用后置前节水利用方式，有效去除颗粒物、油污，改善亲水角。
· 采用颗粒控制与除静电设计，减少二次污染。
· 支持自动补液，可集成在线检测装置，清洗过程全程可视化。
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时间型/空间型ALD设备
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技术特点 Features
· 集成多项标准清洗工艺，并采用后置前节水利用方式，有效去除颗粒物、油污，改善亲水角。
· 采用颗粒控制与除静电设计，减少二次污染。
· 支持自动补液，可集成在线检测装置，清洗过程全程可视化。