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点源蒸镀设备

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点源蒸镀设备

  技术特点 Features  

· 单腔体设计 ，占地面积小，操作时间短。

· 配置多组蒸发源，可实现共蒸。

· 适用于多种材料的蒸镀，工艺验证窗口广泛。


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