反应式等离子体镀膜设备(RPD)

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反应式等离子体镀膜设备(RPD)

  技术特点  Features  

· 低损伤、低温高迁高透工艺,最大幅宽2400mm。

· 产品系列从研发设备至量产设备全面布局;立式传送&卧式传送。

· 应用于钙钛矿、HJT、HBC光伏/面板显示/芯片/锂电池等行业。