立式低压淀积炉
立式低压淀积炉
技术特点 Features
· 兼容性强，最大可兼容硅片尺寸：230mm。
· 大产能设计，满足规模化量产需求。
· 温控精准，工艺一致性优异。
· 设备稼动率≥ 98.5%，碎片率≤ 0.01%。
· AI 智能集成，实现全流程管控。
· 主机单管独立空间设计，运维便捷高效。
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管式氧化铝原子层淀积炉（边缘钝化）
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TBC太阳能电池智能生产线
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