技术特点 Features
· 可满足TOPCon 高效电池切片后的边缘钝化处理。
· 大产能设计，兼容多分片升级，可满足客户定制化需求。
· 实现原子层级膜厚精准控制，膜层均匀性优异。
· 每管反应腔体独立运行，维护周期达季度级别，保障设备高效稳定运行。
· 已通过客户端批量可靠性认证，性能表现优异。
