涂布一体机(箱式/隧道式)
涂布一体机(箱式/隧道式)
技术特点 Features
· 涂布机配置高精度运动平台、多段式涂布控制方式、液路系统自动清洁与干燥、多重安全防护，整体氛围可控。
· VCD采用多方位多层匀流板结构，可实现均匀快速抽真空与保压控制。
· 退火设备为箱式与隧道式可选，升温速度快，稳态温度均匀性优。
上一个：
时间型/空间型ALD设备
下一个：
喷墨打印设备
TOP