单面卷绕溅射镀膜机（三腔）
单面卷绕溅射镀膜机（三腔）
技术特点 Features
· 镀膜腔可拓展，实现多种工艺，高速沉积。
· 采用等离子表面处理，有效提高膜层的结合力。
· 多腔溅射工艺室，提高生产效率。
· 配置多组隔离溅射腔，可以实现多种材料沉积。
· 可定制幅宽300~1650 mm。
· 实现在线光学检测，在线方阻检测。
· 全自动卷绕控制系统，纠偏系统。
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