双面卷绕溅射镀膜设备
双面卷绕溅射镀膜设备
技术特点 Features
· 一步法双面镀膜，单面厚度30nm~1000nm。
· 实现3~50m/min工艺走速、1650大宽幅。
· 镀膜腔可拓展，实现多种工艺和高速镀膜。
· 破空隔离：实现不破空快速换卷。
· 镀膜过程自动控制，主辊冷却 PID 温控调节，计算机界面操作。
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