技术特点 Features
· 模块化设计,设备更加灵活。可根据需求快速调整产线的规模和配置。
· 直线型布局,搭载托盘自动下回流系统,全流程自动化。
· 采用完全自主知识产权的线性蒸发源设计。
· 高精准度的控制系统,温度、速率在线实时监控。
· 蒸发源多段控温、热场均匀。