多功能薄膜沉积设备(SPE)
多功能薄膜沉积设备(SPE)
技术特点 Features
· 集成热蒸镀（VED）、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD) 镀膜；一台SPE设备满足钙钛矿薄膜镀膜需求，等同三台设备产能。
· 连续真空镀膜，减少基板装/卸及膜层暴露大气次数，有利于器件效率提升。
· 设备占地面积需求缩小40%，设备成本降低30%。
· 应用于钙钛矿、HJT、HBC光伏/ 面板显示/芯片/锂电池等行业。
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