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管式等离子体氧化铝淀积炉


设备名称 Equipment Name
· 管式等离子体氧化铝淀积炉  Horizontal PECVD (AlOx

设备型号 Equipment Model
· PD-450M

设备用途 Equipment Application
· 本设备主要用于在硅片背面通过N2O和TMA淀积氧化铝钝化介质膜,提高电压和电流,再在氧化铝膜表面淀积氮化硅保护膜。
 Deposit AlOx passivition dielectric film on the rear side of solar cells x through N2O and TMA gas to increase voltage and current of the solar cell and then deposit SixNy protective film on the surface of the AlOx film. 

工艺流程 Process Flow
· 石墨舟及硅片准备——管内充氮气——进舟——抽真空、压力测试——淀积氧化铝复合膜——抽真空、压力测试——清管路、充氮气——退舟
  graphite boat & wafers ready→Nitrogen inlet→graphite boat load in→vacuum,pressure test → deposit AlO film→vacuum, pressure test→ tube cleaning and Nitrogen inlet→graphite boat unload.

技术特点  Features

· 氧化铝/氮化硅⼆合⼀功能。
  AlOx / SixNy two-in-one function. 

· MES控制功能。
  MES control.

· 中央计算机集中控制。
  Central computer control.

· 双炉门结构设计。
  Double furnace door.

· 双水冷凝冷却密封技术。
  Double cooling water flanges sealing technology.

· 悬浮承载舟技术。
  Graphite boat contact-free with quartz tube.

· 快速镀膜技术。
  Fast coating technology.

· 兼容氮氧化硅PERC技术。
  Compatible with SiOxNy PERC technology. 

· 均匀性改善系统。
  Uniformity improvement system.
 

设备参数  Parameters


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